一、通過不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測光路。
二、原理過程：
(1)利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關(guān)的其他物理量。
(2)測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比的。
三、檢修方法：
1.分光板膜層應(yīng)是入射光的第二面，如裝在第一面，則調(diào)出的等傾干圓涉環(huán)是直的橢圓形干涉環(huán)，可旋松分光板的三只寬頭螺釘，取出分光板，反過180°重新裝入金屬框內(nèi)，把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。
2.分光板調(diào)整請參考故障檢修方法。分光板，補(bǔ)償板的寬頭螺釘，移動(dòng)鏡及參考鏡的調(diào)節(jié)滾花螺釘壓緊力過大，使各鏡片逐步變形產(chǎn)生等傾干涉圓環(huán)不規(guī)則，適當(dāng)放松過緊的螺釘即可消除。
四、維護(hù)：
1.光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時(shí)，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和醚混合液輕拭。
2.傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。
3.使用時(shí)，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。
更新時(shí)間：2023-02-21
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三坐標(biāo)測量儀
當(dāng)前位置：
