光學(xué)輪廓儀是一種基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的高精度測(cè)量?jī)x器，它廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，以非接觸、無損的方式對(duì)精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量。其通過不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測(cè)光路。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后，被分光棱鏡分成兩束光：一束光經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另一束光經(jīng)參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，形成干涉條紋。顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌。

　　光學(xué)輪廓儀的應(yīng)用范圍：

　　1、精密加工：在精密加工領(lǐng)域，用于測(cè)量零件表面的粗糙度、刻線深度、鍍層厚度等微觀結(jié)構(gòu)。例如，量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度以及標(biāo)尺、度盤的刻線深度等，這些精確測(cè)量對(duì)于保證精密零件的性能至關(guān)重要。

　　2、半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體行業(yè)中，輪廓儀用于檢測(cè)硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量，還能應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝工藝檢測(cè)。由于其非接觸式無損檢測(cè)的特點(diǎn)，可以高效地對(duì)超光滑或粗糙的表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量。

　　3、材料科學(xué)研究：材料科學(xué)中，輪廓儀用于分析材料的微觀結(jié)構(gòu)和形貌，如表面粗糙度、平面度、平行度等關(guān)鍵參數(shù)。這種測(cè)量指導(dǎo)生產(chǎn)過程，優(yōu)化產(chǎn)品性能。

　　4、生物化學(xué)研究：在生物學(xué)和化學(xué)研究中，輪廓儀可以用于高靈敏度的光熱效應(yīng)弱吸收測(cè)量和總積分散射測(cè)量。這些測(cè)量幫助研究人員了解生物組織和化學(xué)樣品的微觀結(jié)構(gòu)。

　　5、微機(jī)械學(xué)研究：微機(jī)械學(xué)領(lǐng)域中，輪廓儀用于測(cè)量微小機(jī)械部件的三維結(jié)構(gòu)，如MEMS器件的表面形貌特征。這對(duì)于微型傳感器和執(zhí)行器的設(shè)計(jì)與制造非常重要。

　　6、3C產(chǎn)業(yè)鏈：在3C產(chǎn)業(yè)鏈中，光學(xué)輪廓儀被廣泛應(yīng)用于玻璃屏、手機(jī)金屬殼模具瑕疵及油墨屏高度差的測(cè)量。這些高精度測(cè)量直接影響到電子產(chǎn)品的外觀和性能。