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機(jī)床激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測(cè)量，用于檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進(jìn)行數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度補(bǔ)償。